References
- Munnik , F. , Benninger , F. , Mikhailov , S. , Bertsch , A. , Renaud , P. , Lorenz , H. , & Gmur , M. ( 2003 ). Microelectronic Engineering , 67 , 96 – 103 .
- Mappes , T. , Achenbach , S. , & Mohr , J. ( 2007 ). Microelectronic Engineering , 84 , 1235 – 1239 .
- Kasztelanic , R. ( 2008 ). J. Micro/Nanolith. MEMS and MOEMS , 7 , 1 .
- Liu , G. , Tian , Y. , & Kan , Y. ( 2005 ). Microsystem Technologies , 11 , 343 – 346 .
- Williams , J. D. , & Wang , W. ( 2004 ). Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems , 3 ( 4 ), 563 – 568 .
- Andrzejewska , E. ( 2001 ). Prog. Polym. Sci. , 26 , 605 – 665 .
- Smirnova , T. V. , Burunkova , Yu. E. , & Denisyuk , I. Yu. ( 2006 ). Optical journal , 73 ( 5 ), 57 – 61 .
- Burunkova , Yu. E. , Semyina , S. A. , Kaporsky , L. N. , & Levichev , V. V. ( 2008 ). Optical journal , 75 ( 10 ), 54 – 57 .
- Fokina , M. ( 2007 ). Molecular Crystals and Liquid Crystals , 468 , 385 – 394 .
- Denisyuk , I. Yu. , Fokina , M. I. , Vorzobova , N. D. , Burunkova , Yu. E. , & Bulgakova , V. G. ( 2008 ). Molecular Crystals and Liquid Crystals , 497 , 228 – 235 .
- Denisyuk , I. Yu. , Burunkova , Yu. E. , Fokina , M. I. , Vorzobova , N. D. , & Bulgakova , V. G. ( 2008 ). Optical journal , 75 ( 10 ), 59 – 65 .
- Takada , K. , Kaneko , K. , Li , Y. D. , Kawata , S. , Chen , Q. D. , & Sun , H. B. ( 2008 ). Applied Physics Letters , 92 , 1 – 3 .