REFERENCES
- Moise , T. S. , Summerfelt , S. R. , McAdams , H. , Aggarwal , S. , Udayakumar , K. R. , Celii , F. G. , Martin , J. S. , Xing , G. , Hall , L. , Taylor , K. J. , Hurd , T. , Rodriguez , J. , Remack , K. , Khan , M. D. , Boku , K. , Stacey , G. , Yao , M. , Albrecht , M. G. , Zielinski , E. , Thakre , M. , Kuchimanchi , S. , Thomas , A. , McKee , B. , Rickes , J. , Wang , A. , Grace , J. , Fong , J. , Lee , D. , Pietrzyk , C. , Lanham , R. , Gilbert , S. R. , Taylor , D. , Amano , J. , Bailey , R. , Chu , F. , Fox , G. , Sun , S. and Davenport , T. 2002 . IEDM 2002, session , 21
- Joo , H. J. , Song , Y. J. , Kim , H. H. , Kang , S. K. , Park , J. H. , Kang , Y. M. , Kang , E. Y. , Lee , S. Y. , Jeong , H. S. and Kim , Kinam . 2004 . VLSI Tech 2004 , 148
- Johnson , J. A. , Lisoni , J. G. and Wouters , D. J. 2003 . Microelec. Engineering , 70 : 377 [CSA] [CROSSREF]
- Kanaya , H. , Tomioka , K. , Matsushita , T. , Omura , M. , Ozaki , T. , Kumura , Y. , Shimojo , Y. , Morimoto , T. , Hidaka , O. , Shuto , S. , Koyama , H. , Yamada , Y. , Osari , K. , Tokoh , N. , Fujisaki , F. , Iwabuchi , N. , Yamaguchi , N. , Watanabe , T. , Yabuki , M. , Shinomiya , H. , Watanabe , N. , Itoh , E. , Tsuchiya , T. , Yamakawa , K. , Natori , K. , Yamazaki , S. , Nakazawa , K. , Takashima , D. , Shiratake , S. , Ohtsuki , S. , Oowaki , Y. , Kunishima , I. and Nitayama , A. 2004 . VLSI Tech 2004 , 150 [CSA]
- Maes , D. , Everaert , J.-L. , Goux , L. , Lisoni , J. G. , Paraschiv , V. , Schwitters , M. , Haspeslagh , L. , Wouters , D. J. , Artoni , C. , Caputa , C. , Casella , P. , Corallo , G. , Russo , G. , Zambrano , R. , Monchoix , H. and Van Autryve , L. 2004 . Integr. Ferroelectr. , 66 : 71 [CSA] [CROSSREF]
- Lisoni , J. G. , Johnson , J. A. , Goux , L. , Schwitters , M. , Paraschiv , V. , Maes , D. , Haspeslagh , L. , Caputa , C. , Casella , P. , Zambrano , R. , Vecchio , G. , Monchoix , H. , Van Autryve , L. and Wouters , D. 2004 . Physica Status Solidi , 1 ( S1 ) : S78 [CSA] [CROSSREF]
- Paz de Araujo , C. A. , Cuchiaro , J. D. , McMillan , L. D. , Scott , M. C. and Scott , J. F. 1995 . Nature , 374 : 627 [CSA] [CROSSREF]
- Hong , S.-K. , Yang , B. , Oh , S. H. , Kang , Y. M. , Kang , N. S. , Seon-Hwang , C. and Kwon , O. S. 2001 . J. Appl. Phys. , 89 : 8011 [CSA] [CROSSREF]
- Cha , S. Y. and Lee , H. C. 1999 . Jap. J. Appl. Phys. , 38 : L1128 [CSA] [CROSSREF]
- Grill , A. and Brady , M. J. 1995 . Integrated Ferroelectrics , 9 : 299 [CSA]
- Lisoni , J. G. , Wafer , K. , Johnson , J. A. , Vandevelde , B. , Bronsgersma , S. , Goux , L. , Paraschiv , V. , Maes , D. , Haspeslagh , L. , Wouters , D. J. , Caputa , C. and Zambrano , R. 16th International Symposium on Integrated Ferroelectrics . Gyeongju-Korea : ISIF .
- Vedula , R. , Desu , C. S. , Tirumala , S. , Bhatt , H. D. , Desu , S. B. and Lee , K. B. 2001 . Appl. Phys. A , 72 : 13 [CSA]
- Wouters , D. J. , Maes , D. , Goux , L. , Lisoni , J. G. , Paraschiv , V. , Johnson , J. A. , Schwitters , M. , Everaert , J.-L. , Boullart , W. , Schaekers , M. , Vander Meeren , H. , Haspeslagh , L. , Artoni , C. , Caputa , C. , Casella , P. , Corallo , G. , Russo , G. , Zambrano , R. , Monchoix , H. , Vecchio , G. and Van Autryve , L. J. Appl. Phys. Special Edition Ferroelectric Thin Films Edited by: Baik , S. Prof. , Setter , N. Prof. and Auciello , O. Dr. Invited paper in
- Stoney , G. G. 1909 . Proc. R. Soc. London, Ser. , A82 : 172 σtotal = Es(1/Rf−1/Ri)ts 2/(6(1−νs)tf); Es, νs Young's Modulus and Poisson ratio of the silicon substrate, ts, tf: thickness of the substrate (725 μ m) and film; Ri and Rf curvature radii before and after a particular process, respectively[CSA]
- De Hoff , R. T. , ed. 1993 . “Thermodynamics in Material Science,” . McGraw Hill, Inc and CRC, CRC press . Calculations based on Richardson-Ellingham diagrams from, 77th edition
- Pawlak , M. A. , Lisoni , J. G. , Schram , T. , Smeets , D. , Maex , K. and Vantomme , A. private communication (IMEC internal report)
- Moon , B. K. , Arisumi , O. , Bruchhaus , R. , Tsutsumi , K. , Itokawa , H. , Hornik , K. , Tsuchiya , T. , Hilliger , A. , Lian , J. , Pinnow , C. U. , Ozaki , T. , Kunishima , I. and Nagel , N. 2003 . Integrated Ferroelectrics , 53 : 279 [CSA] [CROSSREF]
- Iacopi , F. , Brongersma , S. H. , Abell , T. J. and Maex , K. 2003 . Mater. Res. Symp. Proc. , 734 : B9.67.1 values used: Ef = 460 GPa, νf = 0.3, tf = 200 nm, L = 3 μ m[CSA]
- Lisoni , J. G. , Wafer , K. , Johnson , J. A. , Goux , L. , Schwitters , M. , Paraschiv , V. , Maes , D. , Haspeslagh , L. , Caputa , C. , Zambrano , R. and Wouters , D. J. 2004 . Ferroelectric Thin Films 12th Symp. . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 784 : 3 [CSA]